概述
Keithley 6514 本质上是一台分辨率达到 femtoampere 级别的静电计。它能够测量其他普通数字万用表无法测量的微小电流、高阻抗电压、电荷和极高电阻。
关键特性和技术规格
极高的电流测量灵敏度：
最低电流量程： 2 nA。
分辨率： 低至 1 fA。
这使其能够测量绝缘材料的漏电流、半导体器件的关断电流、光电二极管的暗电流等。
高阻抗电压测量：
输入阻抗 > 200 TΩ。
能够在不加载电路的情况下测量高阻抗源（如静电探头、压电传感器）的电压。
电荷测量功能：
直接测量电荷，量程从 2 nC 到 2 μC，分辨率可达 1 fC。
极高电阻测量：
通过电压-电流法，可以测量高达 10^16 Ω 的电阻。
这是评估绝缘材料性能的关键能力。
低噪声和低漂移设计：
采用特殊的低噪声输入级和 guarding 技术，以最小化测量过程中的外部干扰和仪器自身噪声。
丰富的接口和功能：
标配 GPIB 和 RS-232 接口，便于自动化测试。
内置电压源，可用于自动生成测量高阻所需的偏置电压。
主要应用领域
Keithley 6514 的极高灵敏度使其在以下领域不可或缺：
半导体器件表征：
测量晶体管的 I-V 曲线，特别是在亚阈值区和关断状态下的漏电流。
测试二极管、光电探测器的暗电流。
材料科学研究：
测量绝缘材料、薄膜、纳米材料的体电阻率和表面电阻率。
静电测量：
测量物体表面累积的静电荷。
与静电探头配合使用，测量静电电位。
物理和化学研究：
测量离子电流、电化学电流。
用于扫描探针显微镜的电流检测。
高能物理：
探测电离辐射产生的微弱电流。
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