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在生产蓝宝石衬底的时候产生裂痕和崩边现象的比例比较高，占总比的5%-8%。我国蓝宝石批量生产的技术还很不成熟，切割完的蓝宝石晶片有很深的加工痕迹，抛光后易形成很深的麻坑或划伤。因此需要通过CMP研磨抛光技术来达到工件平坦度，抛光过程中影响抛光质量的因素有很多，如蓝宝石抛光液的组分和PH值、压力、温度、流量、转速和抛光垫的质量等。
蓝宝石晶圆的抛光需要对化学机械抛光液材质有很高的要求，磨料太软会导致抛光时间过长而抛光效果不理想。
目前抛蓝宝石合适的是钻石抛光液，钻石抛光液磨料是采用金刚石为原料，有很高的硬度，搭配蓝宝石抛光垫有很快的抛光速率。如果对抛光光良度有很高的要求可以在选用吉致电子硅溶胶抛光液进行精拋。
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